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埃频小课堂——电子束蒸发源 · 原料更换指南

2021-03-09     返回
电子束蒸发源是分子束外延生长中常用的一款加热源,它具有受热集中、加热效率高的特点,特别适用于生长较难蒸发的低蒸汽压材料。

对于电子束蒸发源的换料操作,我们以视频的形式给出了操作流程以及注意事项

                              

换料操作注意事项:

1.选择棒材作为原料时应注意:

    (1)原料能否制成棒材

    (2)原料目标饱和蒸汽压对应的温度是否低于其熔点

2.坩埚装料时:

    (1)坩埚需全程保持竖直

    (2)对于金属颗粒原料,可以把原料装到略微高于坩埚口的位置

3.棒材装料时:

    (1)棒材顶端到高压组件法兰面间距不能大于290mm

    (2)装回蒸发源之前,需要将线性位移器退到最后

4.装料完成后:

    (1)从蒸发口重新确认棒材/坩埚是否在蒸发口正中间

 

 

 

 

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