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电子束蒸发源程控电源

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 可以实现对束流实时监控;
 带有电路异常自动保护;
 具有发射电流与生长束流自动稳定功能;
 
                      电子束蒸发源程控电源

 

 

      对于高熔点或者较难蒸发的低蒸汽压材料,往往需要用到电子束蒸发源来进行分子束外延生长,但相比于热蒸发源,电子束蒸发源的操作更加复杂,可能需要同时调节多个参数,且束流更难稳定。程控电子束蒸发源电源实现了高压和灯丝电流的远程控制,并可以实现发射电流和生长束流的自动稳定,使得电子束蒸发源的使用更加便捷。灯丝电源为ITECH提供的高精度电源,高压电源为MATSUSADA(日本)提供的高精度电源模块。


 

 

 

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