低温热蒸发源
传统热蒸发源在近室温范围内往往会出现升温过快,降温过慢以及坩埚温度不均匀等问题,很难精确控制生长温度。
低温热蒸发源选用导热良好的石英坩埚,坩埚通过液态金属与导热性能优良的铜相连,在热源和冷源的共同作用下,实现稳定准确地控温。